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高纯 气广泛应用 于各行业 和工业生产 中，通常 用空气分离工艺 来制取 ，用气态 性高纯气体通过 管道 或钢瓶 收集 容器 输送 给用户 ，用槽车 运输 给用户 。 对于 高纯气体 管道 输送 工艺 ，贸易 转换 计量 通常 采用 气体流量计 ，其公称 通径 在50 毫米 至数百 毫米 之间 。 大多数 交接点 交接点 数量 大，结算 额高 ，往往 是由供需双方 各装一套 流量计 ，从而 做到 公平 计量 ，万无一失 。
对于 高纯气体 流量计 的选择 ，由于 测量 对象 的特点 和传统 习惯 ，多选用 标准 孔板流量计 ，此类 流量计 有以下 特点 ：1)工作 稳定 ，抗干扰能力 强，维修 更换 简单 方便 。2)流量测量 范围广 。测量 的准确性 可以 满足 气体 交易 交接 的要求 。

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便于 计量检定 。 大多数 的检定 方法 都是 几何 检定 ，方法 简单 ，成本 较低。 有些 供方 (或需方 )要求 在通过 几何 法检定 后，再用实流法进行 一次 检定 。 经验 证，1套流量计 各环节 均合格 ，实流检定 也能 合格 。5)价格 与科里奥利质量流量计 相比 要便宜很多 。6)量程 比窄是孔板流量计 的一大 缺点 ，但近几年来 ，双量程 孔板流量计 的发展 ，可以 将量程 比扩大 到33 倍，并达到 1.0 %的不确定度 ，弥补 了这一 缺陷 。在采用 差压式流量计 测量 蒸汽流量时，必须 把气相差 压信号 转化 为凝块 。
并且 由于 高纯气体 无尘 、无水滴 、无油 污染 ，为高纯气体 的测量 创造 了*** 的条件 。



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热式气体质量流量计采用热扩散原理，热扩散技术是一种在苛刻条件下性能优良、可靠性高的技术。一个是速度传感器，一个是自动补偿气体温度变化的温度传感器。当两个RTD被置于介质中时，其中速度传感器被加热到环境温度以上的一个恒定的温度，另一个温度传感器用于感应介质温度。

能源计量是科学管理能源，实现节能降耗，提高经济效益的重要手段。流量仪表是能源计量仪表的重要组成部分，水、人工燃气、、蒸汽和油品这些常用的能源都使用着数量极其庞大的流量计，它们是能源管理和经济核算不可缺少的工具。

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由于热式气体质量流量计有以上的优点， 在锅炉风量测量中得到广泛应用，热式气体质量流量计在锅炉风量测量时， 是有应用技术方法的，如果方法不当， 其使用效果就会受影响,它是控制、分配和调度的眼睛，也是监控安全、经济核算的必要工具。

有许多方法可以测量压缩空气的流量，如转子流量计、涡街流量计、热质或压差式流量计。压气机制造厂空压机出厂检验，多采用精度较高的压差式流量计(如ASME喷嘴)测量流量，而在空压机站房内压缩空气流量测量更多采用热式流量计。

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热质量流量计采用传热原理。当两个温度传感器放置在测量气流中时，一个温度传感器用来感应气流的温度，另一个传感器加热到高于测量的气体温度。

热式质量流量计广泛应用于环保和工业中。热式质量流量计一般在测量气体时必须是干燥的气体，不能含有水分。流体可能产生的沉积、结垢和凝结会影响仪器的性能。热式质量流量计测量气体时，流体温度的变化不像体积流量计随气体体积的变化而变化，不影响热式质量流量计的测量。

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热气体质量流量计适合测量干气体的原因；介质温度是热气体质量流量计的一大难点。工作时，需要将加热探头加热到比介质温度高50度的状态。如果介质本身的温度变化频率度变化频率过高,流体计量是研究物质量变的科学，质量互变规律是事物发展的基本规律，因此其测量对象已不局限于传统意义上的液体管道，凡需掌握量变的地方，都存在流量测量的问题。流速、压力、温度均列为三大检测参数。两者之间的温度差与流量的大小成线性关系，再通过微电子控制技术将这种关系转换为线性输出，用于测量流量信号.

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利用流动流体传递热量改变测量管壁温度分布的热传导分布效应的热分布式流量计曾称量热式;2)利用热消散（冷却）效应的金氏定律。又由于结构上检测元件伸入测量管内，也称浸入型或侵入型有些在使用时从管外插入工艺管内的仪表称作插入式。

TMF无活动部件，无分流管的热分布式仪表无阻流件，压力损失很小；带分流管的热分布式仪表和浸入性仪表，虽在测量管道中置有阻流件，但压力损失也不大。

TMF使用性能相对可靠。与推导式质量流量仪表相比，不需温度传感器，压力传感器和计算单元等，仅有流量传感器，组成简单，出现故障概率小。

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热分布式仪表用于H2 、N2 、O2、CO 、NO等接近理想气体的双原子气体，不必用这些气体专门标定，直接就用空气标定的仪表，实验证明差别仅2%左右；用于Ar、He等单原子气体则乘系数1.4即可,

热式质量流量计响应慢。

被测量气体组分变化较大的场所，因cp值和热导率变化，测量值会有较大变化而产生误差。

对小流量而言，仪表会给被测气体带来相当热量。

对于热分布式TMF，被测气体若在管壁沉积垢层影响测量值，必须定期清洗；对细管型仪表更有易堵塞的缺点，一般情况下不能使用。

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热分布式仪表使用口径和流量均较小，较多应用于半导工业外延扩散、石油化工微型反应装置、镀膜工艺、光导纤维制造、热处理淬火炉等各种场所的氢、氧、氨、燃气等气体流量控制，适用的工业管径范围宽，可达3m，输出信号与被测流量线性，精度高，可测量电导率≥1μs/cm的酸、碱、盐溶液、水、污水、腐蚀性液体和泥浆、矿浆的流体流量。但是空气流量计不能测量气体、蒸汽和纯净水的流量。