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高纯 气广泛应用 于各行业 和工业生产 中，通常 用空气分离工艺 来制取 ，用气态 性高纯气体通过 管道 或钢瓶 收集 容器 输送 给用户 ，用槽车 运输 给用户 。 对于 高纯气体 管道 输送 工艺 ，贸易 转换 计量 通常 采用 气体流量计 ，其公称 通径 在50 毫米 至数百 毫米 之间 。 大多数 交接点 交接点 数量 大，结算 额高 ，往往 是由供需双方 各装一套 流量计 ，从而 做到 公平 计量 ，万无一失 。
对于 高纯气体 流量计 的选择 ，由于 测量 对象 的特点 和传统 习惯 ，多选用 标准 孔板流量计 ，此类 流量计 有以下 特点 ：1)工作 稳定 ，抗干扰能力 强，维修 更换 简单 方便 。2)流量测量 范围广 。测量 的准确性 可以 满足 气体 交易 交接 的要求 。

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便于 计量检定 。 大多数 的检定 方法 都是 几何 检定 ，方法 简单 ，成本 较低。 有些 供方 (或需方 )要求 在通过 几何 法检定 后，再用实流法进行 一次 检定 。 经验 证，1套流量计 各环节 均合格 ，实流检定 也能 合格 。5)价格 与科里奥利质量流量计 相比 要便宜很多 。6)量程 比窄是孔板流量计 的一大 缺点 ，但近几年来 ，双量程 孔板流量计 的发展 ，可以 将量程 比扩大 到33 倍，并达到 1.0 %的不确定度 ，弥补 了这一 缺陷 。在采用 差压式流量计 测量 蒸汽流量时，必须 把气相差 压信号 转化 为凝块 。
并且 由于 高纯气体 无尘 、无水滴 、无油 污染 ，为高纯气体 的测量 创造 了*** 的条件 。



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热式气体质量流量计采用热扩散原理，热扩散技术是一种在苛刻条件下性能优良、可靠性高的技术。一个是速度传感器，一个是自动补偿气体温度变化的温度传感器。当两个RTD被置于介质中时，其中速度传感器被加热到环境温度以上的一个恒定的温度，另一个温度传感器用于感应介质温度。

能源计量是科学管理能源，实现节能降耗，提高经济效益的重要手段。流量仪表是能源计量仪表的重要组成部分，水、人工燃气、、蒸汽和油品这些常用的能源都使用着数量极其庞大的流量计，它们是能源管理和经济核算不可缺少的工具。

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热式气体质量流量计管道式的可测量低流速气体等微小流量，插入式更适合于大管径。热式质量流量计无活动部件，而且性能相对可靠，具有度高、长期精度稳定、重复性好，受安装条件局限小、耐磨损、测量范围度宽、适合脏污介质、压力损失小、使用寿命长等特点。可以广泛应用于各种领域，适合测量水、油、多种液体、蒸汽、空气、、煤气、、有机气体、油渣等。热式气体质量流量计由于自身独有的优良特性正被越来越多的用户认可和使用，现已应用在许多气体流量测量场合。

热式气体质量流量计大都采用开路的负压空气标定，然后修正到高压力工况，或者修正到其他气体

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热式气体质量流量计在锅炉风量测量时， 是有应用技术方法的，如果方法不当， 其使用效果就会受影响。由于锅炉风量测量研究主要在一次风、二次风、烟道和脱硫脱硝等部位， 这些部位风道的尺寸、形状、前后直管段长度和风道弯曲状况、风温都不相同

热分布式仪表使用口径和流量均较小，较多应用于半导工业外延扩散、石油化工微型反应装置、镀膜工艺、光导纤维制造、热处理淬火炉等各种场所的氢、氧、氨、燃气等气体流量控制，以及固体致冷中固体蒸发等累积量和阀门制造中泄漏量的测量等。

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热式质量流量计在环境保护和工业中应用发展也比较多，热式质量流量计一般在测量气体的时候必须是干燥的气体，不能含有湿气，流体的可能产生的沉积，由于热式气体质量流量计有以上的优点， 在锅炉风量测量中得到广泛应用，热式气体质量流量计在锅炉风量测量时， 是有应用技术方法的，如果方法不当， 其使用效果就会受影响。由于锅炉风量测量研究主要在一次风、二次风、烟道和脱硫脱硝等部位，气体的比热容会随着压力温度而变，但在所使用的温度压力附近不大的变化可视为常数。

热式质量流量计响应慢。

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热式气体质量流量计采用热扩散原理，热扩散技术是一种在苛刻条件下性能优良、可靠性高的技术。其典型传感元件包括两个热电阻（铂RTD），一个是速度传感器，一个是自动补偿气体温度变化的温度两种智能靶式流量计是在原有应变片式靶式流量计测量原理的基础上 ，采用了芯片Ⅱ级电容力式传感器作为测量和敏感传递元件，同时利用了现代数字智能处理技术而研制的一种新式流量计量仪表
考虑介质流量是不是满足流量计的流量范围要求，安装现场是不是满足流量计的现场安装要求，还要考虑有哪些情况和因素会影响流量计的计量。

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热式质量流量计在环境保护和工业中应用发展也比较多，热式质量流量计一般在测量气体的时候必须是干燥的气体，不能含有湿气，流体的可能产生的沉积，结垢以及凝结物均将影响仪表的性能，热式质量流量计在测量气体时流体温度的变化也不像体积流量仪表随气体体积变化所改变，这对于热式并不影响质量流量计的测量在线检测小流量气体流量计标准装置的研制能够满足对小流量气体流量计如浮子、皂膜等的测量要求，也可用于家用膜式燃气表的使用中检查，该装置操作简单、快捷，易于直观的得到测量结果。




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热式气体质量流量计有以上的优点， 在锅炉风量测量中得到广泛应用，热式气体质量流量计在锅炉风量测量时， 是有应用技术方法的，如果方法不当， 其使用效果就会受影响。由于锅炉风量测量研究主要在一次风、二次风、烟道和脱硫脱硝等部位， 这些部位风道的尺寸、形状、前后直管段长度和风道弯曲状况、风温都不相同但测量值可能与实际值有一定的偏差，这也是为什么热气体质量流量计适合测量干气体的原因；介质温度是热气体质量流量计的一大难点。工作时，需要将加热探头加热到比介质温度高50度的状态。