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流体 可能 产生 的沉积 、结垢 和凝结 会影响 仪器 的性能 。 热式 质量流量计 测量 气体 时，流体 温度 的变化 不像 体积 流量计 随气体体积的变化 而变化 ，不影响 热式 质量流量计 的测量 。空气流量计是将吸入 的空气 流量 转换成 电信号 的仪器 。 空气流量计的优点 是压力 损失 小，可测 流量 范围 大。 空气流量计的 流量 与 流量 之比一般 在20 :1以上 ，适用 的工业 管径 范围 宽， 可达 3m，输出 信号 与被测流量 线性 ，精度高 ，可测量 电导率 ≥1μs/cm 的酸、碱、盐溶液 、水、污水 、腐蚀性 液体 和泥浆 、矿浆 的流体 流量 。 但是 空气流量计不能测量 气体 、蒸汽 和纯净水 的流量 。



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热式质量流量计广泛应用于环保和工业中。热式质量流量计一般在测量气体时必须是干燥的气体，不能含有水分。

热式气体质量流量计在装置时有很多事项需要注意。热式气体质量流量计的传感器由两个基准铂电阻温度传感器组成，一个测量流量温度，另一个保持高于温度的恒温差。

热分布式 大部分热分布式TMF的流量传感器可任何姿势（水平、 垂直或倾斜）安装，有些仪表只要安装好后在工作条件压力、温度下作电气零点调整。然而有些型号仪表对安装姿势具有敏感性，大部分制造厂会对此就安装姿势影响和安装要求作出说明。

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热气体质量流量计是利用热传导原理测量流量的仪器。该仪器通过恒温差停止测量气体的质量流量。热气体质量流量计有很多优点。毕竟它们的体积比较小，装置也很方便，测量也很准确。

气体质量流量计是一种用于测量各种气体流量的仪器，不仅具有测量精度高、稳定性好的优点，而且在长期使用中可以提高企业的使用成本，空气流量计的流量与流量之比一般在20:1以上，适用的工业管径范围宽，可达3m，输出信号与被测流量线性，精度高。

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流量计转换器中储存了60多种常规气体比热转换系数，设置为基体单一洁净气体。但在现场实际测量中，介质纯度并不那么高。虽然流量计的设计精度没有下降，空气流量计是将吸入的空气流量转换成电信号的仪器。空气流量计的优点是压力损失小，可测流量范围大。空气流量计的流量与流量之比一般在20:1以上，适用的工业管径范围宽，可达3m，输出信号与被测流量线性，精度高，热式气体质量流量计由于自身独有的优良特性正被越来越多的用户认可和使用，现已应用在许多气体流量测量场合。

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热式气体质量流量计的起源是来自于热线式风速计。铂电热丝的温度与流体流速的变化有一个比例关系：流速越快

气体分子与加热壁接触完成热传导而带走探针上的热量。

热分布式仪表用于H2 、N2 、O2、CO 、NO等接近理想气体的双原子气体，不必用这些气体专门标定，直接就用空气标定的仪表，实验证明差别仅2%左右；用于Ar、He等单原子气体则乘系数1.4即可；用于其他气体可用比热容换算，但偏差可能稍大些。

被测量气体组分变化较大的场所，因cp值和热导率变化，测量值会有较大变化而产生误差。

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对小流量而言，仪表会给被测气体带来相当热量。

对于热分布式TMF，被测气体若在管壁沉积垢层影响测量值，必须定期清洗；对细管型仪表更有易堵塞的缺点，一般情况下不能使用。空气流量计的优点是压力损失小，可测流量范围大。空气流量计的流量与流量之比一般在20:1以上，适用的工业管径范围宽，可达3m，热式质量流量计广泛应用于环保和工业中。热式质量流量计一般在测量气体时必须是干燥的气体，不能含有水分。流体可能产生的沉积、结垢和凝结会影响仪器的性能。

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热分布式TMF可测量低流速（气体0.02~2m/s）微小流量；浸入式TMF可测量低~中偏高流速(气体2~60m/s)，插入式TMF更适合于大管径。热分布式仪表用于H2 、N2 、O2、CO 、NO等接近理想气体的双原子气体，不必用这些气体专门标定，直接就用空气标定的仪表，实验证明差别仅2%左右；用于Ar、He等单原子气体则乘系数1.4即可；用于其他气体可用比热容换算，但偏差可能稍大些。气体的比热容会随着压力温度而变，但在所使用的温度压力附近不大的变化可视为常数。热式质量流量计响应慢。

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热分布式仪表使用口径和流量均较小，较多应用于半导工业外延扩散、石油化工微型反应装置、镀膜工艺、光导纤维制造、热处理淬火炉等各种场所的氢、氧、氨、燃气等气体流量控制，以及固体致冷中固体蒸发等累积量和阀门制造中泄漏量的测量等。

通常在主流管道上装孔板等节流装置或均速管，分流部分气体到流量传感器进行测量。然而在低流速测量时因受管道内气体对流的热流影响，使安装姿势显得重要。因此在低和非常低流速流动时要获得测量大部分制造厂会对此就安装姿势影响和安装要求作出说明。例如LDG-□DB系列为减少环境气氛对流传热影响

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热气体质量流量计是利用热传导原理测量流量的仪器。该仪器通过恒温差停止测量气体的质量流量。因此介质温度与介质的比热是关键参数。流量计转换器中储存了60多种常规气体比热转换系数，设置为基体单一洁净气体。但在现场实际测量中，介质纯度并不那么高。虽然流量计的设计精度没有下降，但测量值可能与实际值有一定的偏差，这也是为什么热气体质量流量计适合测量干气体的原因；介质温度是热气体质量流量计的一大难点。工作时，需要将加热探头加热到比介质温度高50度的状态。